| Индекс УДК |
535.33 535.31 |
|
Определение оптических характеристик плоскопараллельных кварцевых пластин при углах Брюстера методом спектральной эллипсометрии Н. И. Стаськов, А. А. Мухаммедмурадов, Н. А. Крекотень, С. О. Парашков |
|
| Аннотация | Предложен способ определения оптических характеристик стеклянных пластин после физико-химической обработки поверхностей, основанный на измерении спектральных зависимостей эллипсометрических углов при углах падения, равных углу Брюстера. Установлено, что по координатам минимумов на спектральных зависимостях эллипсометрических углов можно определить дисперсионную зависимость показателя преломления и оценить толщину поверхностных слоев в процессе изготовления пластин. Рассчитанные по формуле Брюстера спектральные зависимости показателей преломления пластин из оптического кварца КУ-1 в области отсутствия поглощения удовлетворительно согласуются со спектральными зависимостями, которые определяются известными численными методами с использованием программного обеспечения DeltaPsi2 спектрального эллипсометра UVISEL 2 (Horiba). Относительная погрешность определения показателей преломления кварцевых пластин предложенным способом <0. 1 %. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 87, № 1. - С. 122-129 |
