| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | uchm20_to89_no2_ss173_ad1 |
| Дата корректировки | 14:44:21 27 июля 2020 г. |
| Кодируемые данные | 200623s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-uchm20_to89_no2_ss173_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Чувашского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544 |
| Индекс ББК |
24.5 24.5 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Кузнецова, Н. А. доктор химических наук; заместитель заведующего отделом Отдел материалов для микроэлектроники "ГНЦ "НИОПИК" 070 |
|
|
Фотохимические генераторы кислоты. Применение и современное состояние разработок Н. А. Кузнецова, Г. В. Малков, Б. Г. Грибов |
|
| Другая форма заглавия | Применение и современное состояние разработок |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 21 схема, 1 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 189-190 (118 назв. ) |
| Аннотация | Фотохимические генераторы кислоты входят в состав фотоотверждаемых полимерных композиций и фоторезистов с химическим усилением, применяемых в микроэлектронной промышленности. В последнее время такие соединения становятся важными компонентами разнообразных технологических материалов. В обзоре дана классификация фотогенераторов кислоты и обобщены сведения о фотохимических процессах, приводящих к образованию фотокислот. В отдельном разделе представлены примеры их практического использования и показано современное состояние разработок. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
3D-литография катионная фотополимеризация фотогенераторы фотокислоты фотоотверждаемые полимерные композиции фоторедакторы кислот фоторезисты фотохимические генераторы кислот |
|
Малков, Г. В. кандидат химических наук; заведующий отделом Отдел полимеров и композиционных материалов ИПХФ РАН 070 Грибов, Б. Г. член-корреспондент РАН; доктор химических наук; профессор; советник Генерального директора НИИМЭ 070 |
|
| ISSN | 0042-1308 |
| Название источника | Успехи химии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 89, № 2. - С. 173-190 |
|
RU 42813093 20200623 RCR |
|
|
RU 42813093 20200623 |
|
|
RU AR-MARS 20200623 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20200623 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
uchm 2020 89 2 173 1 |
|
| 244 | |
|
Kuznetsova, N. A. Malkov, G. V. Gribov, B. G. |
