| Индекс УДК | 544 |
|
Фотохимические генераторы кислоты. Применение и современное состояние разработок Н. А. Кузнецова, Г. В. Малков, Б. Г. Грибов |
|
| Аннотация | Фотохимические генераторы кислоты входят в состав фотоотверждаемых полимерных композиций и фоторезистов с химическим усилением, применяемых в микроэлектронной промышленности. В последнее время такие соединения становятся важными компонентами разнообразных технологических материалов. В обзоре дана классификация фотогенераторов кислоты и обобщены сведения о фотохимических процессах, приводящих к образованию фотокислот. В отдельном разделе представлены примеры их практического использования и показано современное состояние разработок. |
| Название источника | Успехи химии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 89, № 2. - С. 173-190 |
