| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zfch20_to94_no2_ss289_ad1 |
| Дата корректировки | 14:41:01 4 марта 2020 г. |
| Кодируемые данные | 200218s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zfch20_to94_no2_ss289_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.72 |
| Индекс ББК | 24.58 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Ашхотов, О. Г. 070 |
|
|
Ионно-стимулированная хемосорбция азота на поверхности Si(111) Ашхотов О. Г., Ашхотова И. Б. |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: c. 292 (12 назв.) |
| Аннотация | Приведены результаты по азотированию поверхности кремния, полученной обработкой пучком низкоэнергетических (100–700 эВ) ионов азота, образованного источником с электронным возбуждением. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия поверхностных явлений AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
диэлектрические пленки кремний ионы азот нитрид ионная бомбардировка хемосорбция |
|
Ашхотова, И. Б. 070 Матусевич, Л. Г. 070 |
|
| ISSN | 0044-4537 |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 94, № 2. - С. 289-292 |
|
RU 42013534 20200218 RCR |
|
|
RU 42013534 20200218 |
|
|
RU AR-MARS 20200219 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20200219 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zfch 2020 94 2 289 1 |
|
| 12811 | |
| Физическая химия поверхностных явлений |
