| Индекс УДК | 544.72 |
|
Ионно-стимулированная хемосорбция азота на поверхности Si(111) Ашхотов О. Г., Ашхотова И. Б. |
|
| Аннотация | Приведены результаты по азотированию поверхности кремния, полученной обработкой пучком низкоэнергетических (100–700 эВ) ионов азота, образованного источником с электронным возбуждением. |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 94, № 2. - С. 289-292 |
