| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/235736688 |
| Дата корректировки | 18:52:52 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Комаров, Ф. Ф. | |
|
Формирование однородно легированных слоёв в металлах и полупроводниках методом полиэнергетической высокодозной ионной имплантации Текст |
|
|
металлы полупроводники радиационная обработка материалов полиэнергетическая ионная имплантация легирование |
|
|
Комаров, А. Ф. Миронов, А. М. |
|
| Источник информации |
Доклады Национальной академии наук Беларуси 2007 Т.51, № 3 .- С. 52-56 |
| Тип документа | b |
