Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Статьи
3. Формирование однородно легированных слоёв в металлах и полупроводниках методом полиэнергетической высокодозной ионной имплантации

Формирование однородно легированных слоёв в металлах и полупроводниках методом полиэнергетической высокодозной ионной имплантации

Авторы: Комаров, Ф. Ф. Комаров, А. Ф. Миронов, А. М.