| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma18_to54_no11_ss1174_ad1 |
| Дата корректировки | 9:43:57 28 декабря 2019 г. |
| Кодируемые данные | 191207s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma18_to54_no11_ss1174_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 546 |
| Индекс ББК | 24.12 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Васильев, М. Г. 070 z01710 |
|
|
Подготовка подложек фосфида индия для выращивания эпитаксиальных слоев [Текст] М. Г. Васильев [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 5 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 1176-1177 (16 назв. ) |
| Аннотация | Проведены комплексные исследования технологических операций по подготовке подложек фосфида индия для процессов эпитаксиального роста гетероструктур. Изучены морфология и состояние поверхности фосфида индия для ориентации подложек (100). Апробированы различные химические травители для финишной химической обработки поверхности. Показано, что оптимальным процессом подготовки подложки является двухсторонняя, двухэтапная химико-механическая полировка с помощью суспензий цеолита и заключительная химическая полировка в смеси брома с изопропиловым спиртом. |
|
Химия AR-MARS Химические элементы и их соединения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
полупроводниковые гетероструктуры фосфид индия эпитаксия травление подложка выращивание эпитаксиальных слоев |
|
Васильев, А. М. 070 z02710 Изотов, А. Д. 070 z03710 Шелякин, А. А. 070 z04710 |
|
|
Российская академия наук Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова z01700 Вторичная ответственность Российская академия наук Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова z02700 Вторичная ответственность Российская академия наук Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова z03700 Вторичная ответственность Российская академия наук Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова z04700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 11. - С. 1174-1177 |
|
RU 36713090 20191207 RCR |
|
|
RU 36713090 20191207 |
|
|
RU AR-MARS 20191207 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20191207 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2018 54 11 1174 1 |
|
| 13607 |
