| Индекс УДК | 546 |
|
Подготовка подложек фосфида индия для выращивания эпитаксиальных слоев [Текст] М. Г. Васильев [и др.] |
|
| Аннотация | Проведены комплексные исследования технологических операций по подготовке подложек фосфида индия для процессов эпитаксиального роста гетероструктур. Изучены морфология и состояние поверхности фосфида индия для ориентации подложек (100). Апробированы различные химические травители для финишной химической обработки поверхности. Показано, что оптимальным процессом подготовки подложки является двухсторонняя, двухэтапная химико-механическая полировка с помощью суспензий цеолита и заключительная химическая полировка в смеси брома с изопропиловым спиртом. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 11. - С. 1174-1177 |
