| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma18_to54_no11_ss1149_ad1 |
| Дата корректировки | 9:43:56 28 декабря 2019 г. |
| Кодируемые данные | 191207s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma18_to54_no11_ss1149_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 546 |
| Индекс ББК | 24.12 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Миттова, И. Я. 070 z01710 |
|
|
Синтез диэлектрических пленок термооксидированием MnO[2]/GaAs [Текст] И. Я. Миттова [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 7 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 1156 (21 назв. ) |
| Аннотация | Показано, что магнетронно нанесенные на поверхность монокристаллических пластин GaAs наноразмерные (~29 нм) слои MnO[2] обусловливают транзитный механизм термооксидирования полупроводника. Установлено, что присутствие MnO[2] ускоряет рост пленок в 3-9 раз по толщине по сравнению с собственным оксидированием GaAs. Сформированные пленки с толщиной, варьируемой в диапазоне 35-200 нм, обладают диэлектрическими свойствами (удельное сопротивление порядка 1010 Ом см, электрическая прочность (5-8) · 10{6} В/см). Согласно данным рентгенофазового анализа, пленки обогащены мышьяком в окисленной форме и имеют регулярную зеренную структуру поверхности с высотой рельефа, не превышающей 30 нм (по данным атомно-силовой микроскопии). |
|
Химия AR-MARS Химические элементы и их соединения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
арсенид галлия термооксидирование наноразмерные пленки оксиды синтез диэлектрические пленки монокристаллические пластины |
|
Сладкопевцев, Б. В. 070 z02710 Томина, Е. В. 070 z03710 Самсонов, А. А. 070 z04710 Третьяков, Н. Н. 070 z05710 Пономаренко, С. В. 070 z06710 |
|
|
Воронежский государственный университет z01700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z02700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z03700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z04700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z05700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z06700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 11. - С. 1149-1156 |
|
RU 36713090 20191207 RCR |
|
|
RU 36713090 20191207 |
|
|
RU AR-MARS 20191207 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20191207 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2018 54 11 1149 1 |
|
| 13607 |
