| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | 0749d29156c348b6ad0dd8c6d9dd3657 |
| Дата корректировки | 11:30:54 30 августа 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190814s2019||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 539.26 |
| Индекс ББК | 22.361 |
|
070 z01710 Углов, В. В. доктор физико-математических наук Владимир Васильевич |
|
|
Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiN[x], сформированных методом реактивного магнетронного осаждения В. В. Углов [и др.] |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | рис., табл. |
| Библиография | Библиогр.: с. 110-111 (18 назв.) |
| Аннотация | С помощью просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения установлено, что исследуемые покрытия, сформированные методом реактивного магнетронного осаждения, представляют собой чередующиеся слои ZrN и SiN[x]. |
|
Физика Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики |
|
| Ключевые слова |
многослойные покрытия микроструктура фазовый состав магнетронное осаждение реактивное осаждение электронная микроскопия |
|
070 z02710 Злоцкий, С. В. кандидат физико-математических наук Сергей Владимирович 070 z03710 Солодухин, И. А. кандидат физико-математических наук Игорь Анатольевич 070 Малашевич, А. А. Александр Анатольевич |
|
|
z01100 Белорусский государственный университет z02700 Белорусский государственный университет z03700 Белорусский государственный университет |
|
|
984f34d8c5004ff6af1955cb65c52ce9 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2019 № 2. - С. 105-111 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
| Тип документа | b |
| Физика конденсированного состояния |
