Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiN[x], сформированных методом реактивного магнетронного осаждения
Поиск

Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiN[x], сформированных методом реактивного магнетронного осаждения

Авторы: Углов, В. В. Злоцкий, С. В. Солодухин, И. А. Малашевич, А. А.
Подробная информация
Индекс УДК 539.26
Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiN[x], сформированных методом реактивного магнетронного осаждения
В. В. Углов [и др.]
Место издания Минск
Издательство БГУ
Дата издания 2019