| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps19_to86_no1_ss151_ad1 |
| Дата корректировки | 11:20:38 31 мая 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190519s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps19_to86_no1_ss151_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
539.2 535.33 |
| Индекс ББК |
22.37 22.344 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Базаров, В. В. 070 z01710 |
|
|
Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами кислорода и гелия, методом спектральной эллипсометрии [Текст] В. В. Базаров [и др.] |
|
| Библиография | Библиогр.: с. 154 (13 назв. ) |
| Аннотация | Представлены результаты исследований методом спектральной эллипсометрии поверхности кремния, имплантированного ионами кислорода в интервале доз 7. 5 * 10{14}-3. 7 * 1016 ион/см{2} и ионами гелия в интервале доз 6 * 10{16}-6 * 10{17} ион/см{2} с энергией 40 кэВ при постоянной плотности тока в ионном пучке 2 мкА/см{2} и комнатной температуре облучаемых подложек. Получены зависимости толщины имплантированного слоя в облученных пластинах и степени его аморфизации от дозы ионной имплантации. |
|
Физика AR-MARS Физика твердого тела. Кристаллография в целом AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
аморфный кремний ионная имплантация кремний спектральная эллипсометрия |
|
Нуждин, В. И. 070 z02710 Валеев, В. Ф. 070 z03710 Лядов, Н. М. 070 z04710 |
|
|
Казанский физико-технический институт им Е. К. Завойского, обособленное структурное подразделение ФИЦ КазНЦ РАН z01700 Вторичная ответственность Казанский физико-технический институт им Е. К. Завойского, обособленное структурное подразделение ФИЦ КазНЦ РАН z02700 Вторичная ответственность Казанский физико-технический институт им Е. К. Завойского, обособленное структурное подразделение ФИЦ КазНЦ РАН z03700 Вторичная ответственность Казанский физико-технический институт им Е. К. Завойского, обособленное структурное подразделение ФИЦ КазНЦ РАН z04700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 86, № 1. - С. 151-154 |
|
RU 43013090 20190519 RCR |
|
|
RU 43013090 20190519 |
|
|
RU AR-MARS 20190519 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20190519 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2019 86 1 151 1 |
|
| 718 | |
| Краткие сообщения |
