| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ognu18_no4/5_ss18_ad1 |
| Дата корректировки | 10:52:38 30 октября 2018 г. |
| Кодируемые данные | 181010s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ognu18_no4/5_ss18_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научно-техническая библиотека Национального технического университета «Харьковский политехнический институт» МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 667 |
| Индекс ББК | 35.79 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Зайцев, С. В. 070 |
|
|
Влияние фотонного отжига на структуру пленок MgO, синтезированных методом дуального магнетронного напыления [Текст] С. В. Зайцев [и др.] |
|
| Аннотация | Исследованы микроструктурные и текстурные изменения пленок MgO, нанесенные на стеклянные и лейкосапфировые подложки методом дуального магнетронного напыления и последующего фотонного отжига. Пленки MgO на обоих типах подложек состоят из хорошо развитой столбчатой структуры, причем ориентация пленки при данных условиях осаждения не зависит от подложки. Установлено, что при повышении температуры отжига происходит изменения постоянной решетки и размер зерна. Выявлено, что интенсивность рефлексов существенно изменяется с увеличением температуры отжига, но плоскость (220) является преобладающей. Кроме того, повышение температуры отжига приводит к уплотнению микроструктуры покрытий и повышению ее однородности. Показано, что фотонный отжиг в вакууме при 900 °С с увеличением времени выдержки не влияет на структурные изменения в пленке. |
|
Химическая технология AR-MARS Другие химические производства AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
структура пленки рентгеновская дифракция фотонный отжиг оксид магния магнетронное распыление |
|
Прохоренков, Д. С. 070 Лимаренко, М. В. 070 Ващилин, В. С. 070 Колесник, В. В. 070 Евтушенко, Е. И. 070 Лебедев, М. С. 070 |
|
| ISSN | 0369-7290 |
| Название источника | Огнеупоры и техническая керамика |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 4/5. - С. 18-23 |
|
RU 31013554 20181010 RCR |
|
|
RU 31013554 20181010 |
|
|
RU AR-MARS 20181012 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20181012 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
ognu 2018 4/5 18 1 |
|
| 13741 |
