| Индекс УДК | 667 |
|
Влияние фотонного отжига на структуру пленок MgO, синтезированных методом дуального магнетронного напыления [Текст] С. В. Зайцев [и др.] |
|
| Аннотация | Исследованы микроструктурные и текстурные изменения пленок MgO, нанесенные на стеклянные и лейкосапфировые подложки методом дуального магнетронного напыления и последующего фотонного отжига. Пленки MgO на обоих типах подложек состоят из хорошо развитой столбчатой структуры, причем ориентация пленки при данных условиях осаждения не зависит от подложки. Установлено, что при повышении температуры отжига происходит изменения постоянной решетки и размер зерна. Выявлено, что интенсивность рефлексов существенно изменяется с увеличением температуры отжига, но плоскость (220) является преобладающей. Кроме того, повышение температуры отжига приводит к уплотнению микроструктуры покрытий и повышению ее однородности. Показано, что фотонный отжиг в вакууме при 900 °С с увеличением времени выдержки не влияет на структурные изменения в пленке. |
| Название источника | Огнеупоры и техническая керамика |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 4/5. - С. 18-23 |
