Поиск

Влияние условий гидрохимического осаждения тонких пленок ZnSe на их морфологию и внутренние механические напряжения

Авторы: Маскаева, Л. Н. Марков, В. Ф. Федорова, Е. А. Кузнецов, М. В.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zpch18_to91_vy9_ss1346_ad1
Дата корректировки 10:52:24 30 октября 2018 г.
Кодируемые данные 181011s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zpch18_to91_vy9_ss1346_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 661.2/.6
Индекс ББК 35.20
Таблицы для массовых библиотек
Маскаева, Л. Н.
070
z01710
Влияние условий гидрохимического осаждения тонких пленок ZnSe на их морфологию и внутренние механические напряжения
[Текст]
Л. Н. Маскаева [и др.]
Аннотация Методом гидрохимического осаждения в системе ZnCl[2]-Na[2]ЭДТА-NaOH-NH[2]OH-HCl с использованием селеносульфата натрия в качестве халькогенизатора на ситалловых подложках получены пленки ZnSe толщиной до 2300 нм. Рассчитаны внутренние механические напряжения сжатия, вызванные различием коэффициентов термического расширения пленки ZnSe и ситалловой подложки, зависящие от толщины осажденного слоя и достигающие для ~1040 нм величины -30. 62 кН·м{-2}. Использование полученных результатов позволит исключить нарушение сплошности пленки с ростом ее толщины при формировании прекурсорных слоев, а также обеспечить выбор оптимального подложечного материала.
Химическая технология
AR-MARS
Технология неорганических веществ
AR-MARS
Ключевые слова гидрохимическое осаждение
прекурсорные слои
селеносульфат натрия
ситалловые подложки
халькогенизаторы
Марков, В. Ф.
070
z02710
Федорова, Е. А.
070
z03710
Кузнецов, М. В.
070
z04710
Уральский институт ГПС МЧС России
z01700
Вторичная ответственность
Уральский институт ГПС МЧС России
z02700
Вторичная ответственность
Уральский федеральный университет
z03700
Вторичная ответственность
Институт химии твердого тела УрО РАН
z04700
Вторичная ответственность
ISSN 0044-4618
Название источника Журнал прикладной химии
Место и дата издания 2018
Прочая информация Т. 91, вып. 9. - С. 1346-1356
RU
42013534
20181011
RCR
RU
42013534
20181011
RU
AR-MARS
20181011
RCR
RU
AR-MARS
20181011
Тип документа b
code
year
to
vy
ss
ad
zpch
2018
91
9
1346
1
12807
Неорганический синтез и технология неорганических производств