Маркер записи | n 22 3 4500 |
Контрольный номер | zpch18_to91_vy9_ss1346_ad1 |
Дата корректировки | 10:52:24 30 октября 2018 г. |
Кодируемые данные | 181011s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
Системный контрольный номер | RUMARS-zpch18_to91_vy9_ss1346_ad1 |
AR-MARS | |
Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
Код языка каталог. | rus |
Код языка издания |
rus rus |
Индекс УДК | 661.2/.6 |
Индекс ББК | 35.20 |
Таблицы для массовых библиотек | |
Маскаева, Л. Н. 070 z01710 |
|
Влияние условий гидрохимического осаждения тонких пленок ZnSe на их морфологию и внутренние механические напряжения [Текст] Л. Н. Маскаева [и др.] |
|
Аннотация | Методом гидрохимического осаждения в системе ZnCl[2]-Na[2]ЭДТА-NaOH-NH[2]OH-HCl с использованием селеносульфата натрия в качестве халькогенизатора на ситалловых подложках получены пленки ZnSe толщиной до 2300 нм. Рассчитаны внутренние механические напряжения сжатия, вызванные различием коэффициентов термического расширения пленки ZnSe и ситалловой подложки, зависящие от толщины осажденного слоя и достигающие для ~1040 нм величины -30. 62 кН·м{-2}. Использование полученных результатов позволит исключить нарушение сплошности пленки с ростом ее толщины при формировании прекурсорных слоев, а также обеспечить выбор оптимального подложечного материала. |
Химическая технология AR-MARS Технология неорганических веществ AR-MARS |
|
Ключевые слова |
гидрохимическое осаждение прекурсорные слои селеносульфат натрия ситалловые подложки халькогенизаторы |
Марков, В. Ф. 070 z02710 Федорова, Е. А. 070 z03710 Кузнецов, М. В. 070 z04710 |
|
Уральский институт ГПС МЧС России z01700 Вторичная ответственность Уральский институт ГПС МЧС России z02700 Вторичная ответственность Уральский федеральный университет z03700 Вторичная ответственность Институт химии твердого тела УрО РАН z04700 Вторичная ответственность |
|
ISSN | 0044-4618 |
Название источника | Журнал прикладной химии |
Место и дата издания | 2018 |
Прочая информация | Т. 91, вып. 9. - С. 1346-1356 |
RU 42013534 20181011 RCR |
|
RU 42013534 20181011 |
|
RU AR-MARS 20181011 RCR |
|
RU AR-MARS 20181011 |
|
Тип документа | b |
code year to vy ss ad |
|
zpch 2018 91 9 1346 1 |
|
12807 | |
Неорганический синтез и технология неорганических производств |