| Индекс УДК | 661.2/.6 |
|
Влияние условий гидрохимического осаждения тонких пленок ZnSe на их морфологию и внутренние механические напряжения [Текст] Л. Н. Маскаева [и др.] |
|
| Аннотация | Методом гидрохимического осаждения в системе ZnCl[2]-Na[2]ЭДТА-NaOH-NH[2]OH-HCl с использованием селеносульфата натрия в качестве халькогенизатора на ситалловых подложках получены пленки ZnSe толщиной до 2300 нм. Рассчитаны внутренние механические напряжения сжатия, вызванные различием коэффициентов термического расширения пленки ZnSe и ситалловой подложки, зависящие от толщины осажденного слоя и достигающие для ~1040 нм величины -30. 62 кН·м{-2}. Использование полученных результатов позволит исключить нарушение сплошности пленки с ростом ее толщины при формировании прекурсорных слоев, а также обеспечить выбор оптимального подложечного материала. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 91, вып. 9. - С. 1346-1356 |
