| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zpch18_to91_vy8_ss1104_ad1 |
| Дата корректировки | 10:51:57 30 октября 2018 г. |
| Кодируемые данные | 181009s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zpch18_to91_vy8_ss1104_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.55 |
| Индекс ББК | 24.55 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Осипов, А. А. z01710 070 |
|
|
Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2] [Текст] А. А. Осипов, С. Е. Александров, В. И. Березенко |
|
| Аннотация | Разработан процесс глубокого плазмохимического травления пластин монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2]. С помощью метода научного планирования эксперимента, основанного на матричном методе Taguchi, выполнено ранжирование основных технологических параметров (напряжения смещения, подаваемого на подложкодержатель, выходной мощности ВЧ генератора, расхода кислорода и положения подложкодержателя относительно нижнего края разрядной камеры) по степени их влияния на скорость травления. По результатам ранжирования осуществлена оптимизация процесса плазмохимического травления и проведен контрольный эксперимент по сквозному травлению окон с большими линейными размерами в пластине монокристаллического кварца (z-срез) толщиной 369 мкм. |
|
Химия AR-MARS Химия плазмы AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
высокоароматические отходы гидрогенизационная переработка дизельные топлива реактивные топлива топливные фракции |
|
Александров, С. Е. 070 z02710 Березенко, В. И. 070 z03710 |
|
|
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого z01100 Вторичная ответственность Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого z02700 Вторичная ответственность ООО "СВЦС" z03700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0044-4618 |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 91, вып. 8. - С. 1104-1110 |
|
RU 42013534 20181009 RCR |
|
|
RU 42013534 20181009 |
|
|
RU AR-MARS 20181009 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20181009 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
zpch 2018 91 8 1104 1 |
|
| 12807 |
