| Индекс УДК | 544.55 |
|
Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2] [Текст] А. А. Осипов, С. Е. Александров, В. И. Березенко |
|
| Аннотация | Разработан процесс глубокого плазмохимического травления пластин монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2]. С помощью метода научного планирования эксперимента, основанного на матричном методе Taguchi, выполнено ранжирование основных технологических параметров (напряжения смещения, подаваемого на подложкодержатель, выходной мощности ВЧ генератора, расхода кислорода и положения подложкодержателя относительно нижнего края разрядной камеры) по степени их влияния на скорость травления. По результатам ранжирования осуществлена оптимизация процесса плазмохимического травления и проведен контрольный эксперимент по сквозному травлению окон с большими линейными размерами в пластине монокристаллического кварца (z-срез) толщиной 369 мкм. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 91, вып. 8. - С. 1104-1110 |
