| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/590667216 |
| Дата корректировки | 10:38:51 30 октября 2018 г. |
| Кодируемые данные | 181012s2018||||by |||||||||||000|||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
|
rus rus |
|
| Индекс УДК | 539.2 |
| Индекс ББК | 22.37 |
|
070 Климович, И. М. Ирина Михайловна |
|
|
Влияние температуры нагрева подложек и потенциала смещения на оптические характеристики Ti-Al-C-N покрытий И. М. Климович, Ф. Ф. Комаров, В. А. Зайков |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис., 2 табл. |
| Библиография | Библиогр.: с. 421 (15 назв.) |
| Аннотация | Возможность варьирования электрофизических и оптических характеристик пленок Ti-Al-C-N путем выбора оптимальных условий их реактивного осаждения. |
| Основная рубрика |
Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом |
| Ключевые слова |
поверхностные явления оптические характеристики магнетронные осаждения электронная микроскопия наноструктурные покрытия подложки |
|
070 z01710 Комаров, Ф. Ф. доктор физико-математических наук Фадей Фадеевич 070 Зайков, В. А. Валерий Александрович |
|
|
z01700 Белорусский государственный университет Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко |
|
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 62, № 4. - С. 415-422 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
| ISSN | 1561-8323 |
|
RU 863 |
|
| Тип документа | b |
| Физика |
