| Индекс УДК | 539.2 |
|
Влияние температуры нагрева подложек и потенциала смещения на оптические характеристики Ti-Al-C-N покрытий И. М. Климович, Ф. Ф. Комаров, В. А. Зайков |
|
| Аннотация | Возможность варьирования электрофизических и оптических характеристик пленок Ti-Al-C-N путем выбора оптимальных условий их реактивного осаждения. |
| Ключевые слова |
поверхностные явления оптические характеристики магнетронные осаждения электронная микроскопия наноструктурные покрытия подложки |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 62, № 4. - С. 415-422 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
