| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | nani18_no5_ss328_ad1 |
| Дата корректировки | 11:02:58 28 сентября 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180921s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-nani18_no5_ss328_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Тверская областная универсальная научная библиотека им. А. М. Горького МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus eng |
| Индекс УДК | 004.41/.42 |
| Индекс ББК | 32.973-018 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Изралиев, Н. 070 |
|
|
Межпроцессный контроль критических размеров МЭМС-элементов в производстве [Текст] Н. Израилев [и др.] |
|
|
Interprocess control of critical dimensions in production of MEMS eng |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил.: 2 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 334 (7 назв.) |
| Аннотация | В статье приведены результаты разработки программного обеспечения (ПО) для автоматического анализа оптических изображений. |
|
Вычислительная техника AR-MARS Программирование ЭВМ. Компьютерные программы. Программотехника AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
программное обеспечение МЭМС микроэлектромеханические системы оптические изображения травление кремния |
|
Казачков, А. 070 Род, И. 070 Исаченко, А. 070 Шамирян, Д. 070 |
|
| ISSN | 1993-8578 |
| Название источника | Наноиндустрия |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 5. - С. 328-334 |
|
RU 17017092 20180921 RCR |
|
|
RU 17017092 20180921 |
|
|
RU AR-MARS 20180924 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180924 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
nani 2018 5 328 1 |
|
| 17104 | |
| Контроль и измерения | |
|
Izrailev, N. 070 Kazachkov, A. 070 Rod, I. 070 Isachenko, A. 070 Shamiryan, D. 070 |
