| Индекс УДК | 004.41/.42 |
|
Межпроцессный контроль критических размеров МЭМС-элементов в производстве [Текст] Н. Израилев [и др.] |
|
| Аннотация | В статье приведены результаты разработки программного обеспечения (ПО) для автоматического анализа оптических изображений. |
| Название источника | Наноиндустрия |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 5. - С. 328-334 |
