Поиск

Влияние параметров реактивного магнетронного распыления на трибомеханические свойства защитных наноструктурированных покрытий Ti-Al-N

Авторы: Климович, И. М. Комаров, Ф. Ф. Зайков, В. А. Кулешов, А. К. Пилько, В. В.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер triz18_to39_no2_ss122_ad1
Дата корректировки 11:17:02 31 августа 2018 г.
Кодируемые данные 180813s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-triz18_to39_no2_ss122_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научно-техническая библиотека Саратовского государственного технического университета имени Гагарина Ю.А.
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
Индекс УДК 62
Индекс ББК 30
Таблицы для массовых библиотек
Климович, И. М.
070
z01710
Влияние параметров реактивного магнетронного распыления на трибомеханические свойства защитных наноструктурированных покрытий Ti-Al-N
[Текст]
И. М. Климович [и др.]
Библиография Библиогр.: с. 129 (9 назв.)
Аннотация В работе исследовано влияние температуры и потенциала смещения подложки на структуру и трибомеханические характеристики покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления.
The influence of substrate temperature and bias voltage on the structure and tribomechanical properties of the Ti-Al-N coatings obtained by reactive magnetron sputtering technique is investigated.
Техника
AR-MARS
Общие вопросы техники
AR-MARS
Ключевые слова Ti-Al-N
защитные покрытия
магнетронное распыление
наноструктурированные покрытия
покрытия
реактивное распыление
трибомеханические свойства
Комаров, Ф. Ф.
070
z02710
Зайков, В. А.
070
z03710
Кулешов, А. К.
070
z04710
Пилько, В. В.
070
z05710
Белорусский государственный университет
z01700
Вторичная ответственность
Белорусский государственный университет
z02700
Вторичная ответственность
Белорусский государственный университет
z03700
Вторичная ответственность
Белорусский государственный университет
z04700
Вторичная ответственность
Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ
z05700
Вторичная ответственность
ISSN 0202-4977
Название источника Трение и износ
Место и дата издания 2018
Прочая информация Т. 39, № 2. - С. 122-129
RU
41013506
20180813
RCR
RU
41013506
20180813
RU
AR-MARS
20180814
RCR
RU
AR-MARS
20180814
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
triz
2018
39
2
122
1
985