| Индекс УДК | 62 |
|
Влияние параметров реактивного магнетронного распыления на трибомеханические свойства защитных наноструктурированных покрытий Ti-Al-N [Текст] И. М. Климович [и др.] |
|
| Аннотация |
В работе исследовано влияние температуры и потенциала смещения подложки на структуру и трибомеханические характеристики покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления. The influence of substrate temperature and bias voltage on the structure and tribomechanical properties of the Ti-Al-N coatings obtained by reactive magnetron sputtering technique is investigated. |
| Название источника | Трение и износ |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 39, № 2. - С. 122-129 |
