| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma18_to54_no4_ss423_ad1 |
| Дата корректировки | 15:41:11 30 июля 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180630s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma18_to54_no4_ss423_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.315.6 |
| Индекс ББК | 31.234 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Ненашев, Р. Н. 070 z01710 |
|
|
Свойства тонких органоалкиленсилоксановых пленок, полученных золь-гель-методом [Текст] Р. Н. Ненашев [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 5 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 427-428 (20 назв. ) |
| Аннотация | Были приготовлены пленкообразующие растворы для золь-гель-формирования тонких плотных и пористых органоалкиленсилоксановых (ОАС) пленок на основе сополимеров метилтриметоксисилана и 1, 2-бис- (триметоксисилил) этана (БТМСЭ). Методами ИК-спектроскопии и спектральной эллипсометрии исследованы химический состав и микроструктура ОАС-пленок в зависимости от количества мольной доли БТМСЭ и соотношения вода/метокси-группы в растворе. Установлено, что замена части кремний-кислородных связей на этиленовые мостиковые связи в ОАС сопровождается нарушением регулярной лестнично-подобной структуры, характерной для пленок полиметилсилсесквиоксана, и появлением остаточных силанольных групп, что ведет к увеличению диэлектрической проницаемости k матричного материала. При формировании пористых ОАС-пленок методом испарительно-индуцированной самосборки обнаружено, что величина относительной пористости определяется не только количеством введенного поверхностно-активного вещества (ПАВ), но и наличием в приготовленном растворе матричного сополимера достаточного количества силанольных групп, участвующих в присоединении молекул ПАВ. В этой связи важным фактором, определяющим строение ОАС-матрицы и ее пористую структуру, является контроль содержания воды, участвующей в процессе согидролиза. Показано, что образцы с относительной пористостью 38%, полученные из пленкообразующего раствора, содержащего 47 мол. % БТМСЭ (m = 0. 7) и 30 мас. % ПАВ, имеют значения k ~ 2. 3 и являются перспективными материалами для использования в качестве изолирующего диэлектрика интегральных схем. |
|
Энергетика AR-MARS Электроизолирующие материалы и изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
тонкие пленки золь-гель-метод диэлектрическая проницаемость пористость органоалкиленсилоксаны полиметилсилсесквиоксаны |
|
Вишневский, А. С. 070 z02710 Котова, Н. М. 070 z03710 Воротилов, К. А. 070 z04710 |
|
|
Московский технологический университет z01700 Вторичная ответственность Московский технологический университет z02700 Вторичная ответственность Московский технологический университет z03700 Вторичная ответственность Московский технологический университет z04700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 4. - С. 423-428 |
|
RU 36713090 20180630 RCR |
|
|
RU 36713090 20180630 |
|
|
RU AR-MARS 20180630 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180630 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2018 54 4 423 1 |
|
| 13607 |
