| Индекс УДК | 621.315.6 |
|
Свойства тонких органоалкиленсилоксановых пленок, полученных золь-гель-методом [Текст] Р. Н. Ненашев [и др.] |
|
| Аннотация | Были приготовлены пленкообразующие растворы для золь-гель-формирования тонких плотных и пористых органоалкиленсилоксановых (ОАС) пленок на основе сополимеров метилтриметоксисилана и 1, 2-бис- (триметоксисилил) этана (БТМСЭ). Методами ИК-спектроскопии и спектральной эллипсометрии исследованы химический состав и микроструктура ОАС-пленок в зависимости от количества мольной доли БТМСЭ и соотношения вода/метокси-группы в растворе. Установлено, что замена части кремний-кислородных связей на этиленовые мостиковые связи в ОАС сопровождается нарушением регулярной лестнично-подобной структуры, характерной для пленок полиметилсилсесквиоксана, и появлением остаточных силанольных групп, что ведет к увеличению диэлектрической проницаемости k матричного материала. При формировании пористых ОАС-пленок методом испарительно-индуцированной самосборки обнаружено, что величина относительной пористости определяется не только количеством введенного поверхностно-активного вещества (ПАВ), но и наличием в приготовленном растворе матричного сополимера достаточного количества силанольных групп, участвующих в присоединении молекул ПАВ. В этой связи важным фактором, определяющим строение ОАС-матрицы и ее пористую структуру, является контроль содержания воды, участвующей в процессе согидролиза. Показано, что образцы с относительной пористостью 38%, полученные из пленкообразующего раствора, содержащего 47 мол. % БТМСЭ (m = 0. 7) и 30 мас. % ПАВ, имеют значения k ~ 2. 3 и являются перспективными материалами для использования в качестве изолирующего диэлектрика интегральных схем. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 4. - С. 423-428 |
