| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma18_to54_no4_ss335_ad1 |
| Дата корректировки | 15:41:03 30 июля 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180630s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma18_to54_no4_ss335_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
546 621.315.592 |
| Индекс ББК |
24.12 31.233 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Непомнящих, А. И. z01710 070 |
|
|
Распределение примесей в процессе выращивания мультикристаллического кремния [Текст] А. И. Непомнящих, Р. В. Пресняков |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис., 3 табл. |
| Библиография | Библиогр.: с. 339 (7 назв. ) |
| Аннотация | Приведены результаты экспериментов по выращиванию мультикристаллического кремния с заданными электрофизическими характеристиками на основе кремния с долей основного вещества менее 99. 999 ат. %. Расчет эффективных коэффициентов распределения примесей ряда железа показал снижение их значений при увеличении концентраций примесей в исходной загрузке. |
|
Химия AR-MARS Химические элементы и их соединения AR-MARS Энергетика AR-MARS Полупроводниковые материалы и изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
мультикристаллический кремний направленная кристаллизация эффективный коэффициент распределения примеси выращивание |
|
Пресняков, Р. В. 070 z02710 |
|
|
СО Российской академии наук Институт геохимии им. А. П. Виноградова z01100 Вторичная ответственность СО Российской академии наук Институт геохимии им. А. П. Виноградова z02700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 4. - С. 335-339 |
|
RU 36713090 20180630 RCR |
|
|
RU 36713090 20180630 |
|
|
RU AR-MARS 20180630 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180630 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2018 54 4 335 1 |
|
| 13607 |
