| Индекс УДК |
546 621.315.592 |
|
Распределение примесей в процессе выращивания мультикристаллического кремния [Текст] А. И. Непомнящих, Р. В. Пресняков |
|
| Аннотация | Приведены результаты экспериментов по выращиванию мультикристаллического кремния с заданными электрофизическими характеристиками на основе кремния с долей основного вещества менее 99. 999 ат. %. Расчет эффективных коэффициентов распределения примесей ряда железа показал снижение их значений при увеличении концентраций примесей в исходной загрузке. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 4. - С. 335-339 |
