| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ognu17_no4/5_ss17_ad1 |
| Дата корректировки | 15:40:16 31 мая 2018 г. |
| Кодируемые данные | 171205s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ognu17_no4/5_ss17_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научно-техническая библиотека Национального технического университета «Харьковский политехнический институт» БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 667 |
| Индекс ББК | 35.79 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Зайцев, С. В. 070 |
|
|
Фотонный отжиг пленок оксида цинка, синтезированных с использованием вакуум-плазменных технологий [Текст] С. В. Зайцев [и др.] |
|
| Аннотация | Рассмотрена возможность получения пленок оксида цинка (ZnO) на подложках из сапфира с-ориентации методом дуального магнетронного распыления, в газовой среде Аr-O[2] с разным разрядным током и последующем отжигом в вакууме. Приведены результаты исследования структуры и морфологии полученных пленок ZnO на сапфире. Установлено, что синтезированные покрытия ZnO имеют поликристаллическую гексагональную структуру типа вюрцит с ориентацией зерен в плоскости (002) и (103). Установлено, что фотонный отжиг увеличивает степень ориентирования зерна, повышая качество кристаллов синтезированных пленок ZnO. |
|
Химическая технология AR-MARS Другие химические производства AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
структура пленки морфология поверхности рентгеновская дифракция фотонный отжиг оксид цинка дуальное магнетронное распыление |
|
Колесник, В. В. 070 Ващилин, В. С. 070 Лимаренко, М. В. 070 Прохоренков, Д. С. 070 Евтушенко, Е. И. 070 |
|
| ISSN | 0369-7290 |
| Название источника | Огнеупоры и техническая керамика |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 4/5. - С. 17-21 |
|
RU 31013554 20171205 RCR |
|
|
RU 31013554 20171205 |
|
|
RU AR-MARS 20180502 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180502 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
ognu 2017 4/5 17 1 |
|
| 13741 |
