| Индекс УДК | 667 |
|
Фотонный отжиг пленок оксида цинка, синтезированных с использованием вакуум-плазменных технологий [Текст] С. В. Зайцев [и др.] |
|
| Аннотация | Рассмотрена возможность получения пленок оксида цинка (ZnO) на подложках из сапфира с-ориентации методом дуального магнетронного распыления, в газовой среде Аr-O[2] с разным разрядным током и последующем отжигом в вакууме. Приведены результаты исследования структуры и морфологии полученных пленок ZnO на сапфире. Установлено, что синтезированные покрытия ZnO имеют поликристаллическую гексагональную структуру типа вюрцит с ориентацией зерен в плоскости (002) и (103). Установлено, что фотонный отжиг увеличивает степень ориентирования зерна, повышая качество кристаллов синтезированных пленок ZnO. |
| Название источника | Огнеупоры и техническая керамика |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 4/5. - С. 17-21 |
