| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/570712977 |
| Дата корректировки | 11:09:38 27 апреля 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180418s2017||||by |||||||||||000|||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
|
rus rus |
|
| Индекс УДК | 537 |
| Индекс ББК | 22.33 |
|
070 z01710 Климович, И. М. Ирина Михайловна |
|
|
Особенности формирования тонких пленок кремния, осаждаемых магнетронным распылением И. М. Климович [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 40 (10 назв.) |
| Аннотация | Исследование морфологии поверхности и оптических характеристик тонких Si-покрытий. |
| Основная рубрика |
Физика Электричество и магнетизм в целом |
| Ключевые слова |
тонкие пленки пленки кремния магнетронное распыление магнетронное осаждение атомно-силовая микроскопия электронная микроскопия солнечные элементы Si-покрытия |
|
070 z02710 Романов, И. А. Иван Александрович 070 z03710 Комаров, Ф. Ф. доктор физико-математических наук Фаддей Фадеевич 070 z04710 Зайков, В. А. Валерий Александрович 070 z05710 Власукова, Л. А. кандидат физико-математических наук Людмила Александровна 070 z06710 Осин, Ю. Н. Юрий Николаевич |
|
|
z01100 Белорусский государственный университет z02700 Белорусский государственный университет z03700 Белорусский государственный университет z04700 Белорусский государственный университет z05700 Белорусский государственный университет z06700 Казанский научный центр РАН |
|
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 61, № 6. - С. 35-41 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
| ISSN | 1561-8323 |
|
RU 863 |
|
| Тип документа | b |
| Физика |
