| Индекс УДК | 537 |
|
Особенности формирования тонких пленок кремния, осаждаемых магнетронным распылением И. М. Климович [и др.] |
|
| Аннотация | Исследование морфологии поверхности и оптических характеристик тонких Si-покрытий. |
| Ключевые слова |
тонкие пленки пленки кремния магнетронное распыление магнетронное осаждение атомно-силовая микроскопия электронная микроскопия солнечные элементы Si-покрытия |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 61, № 6. - С. 35-41 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
