| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zpch17_to90_vy11_ss1463_ad1 |
| Дата корректировки | 14:42:26 30 января 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180117s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zpch17_to90_vy11_ss1463_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 541.6 |
| Индекс ББК | 24.7 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Рудая, Л. И. 070 z01710 |
|
|
Высокотермостойкие полифункциональные материалы для микроэлектроники, гидродинамические, оптические и конформационные свойства Si-содержащего поли(гидроксиамида) [Текст] Л. И. Рудая [и др.] |
|
| Библиография | Библиогр.: с. 1469 (15 назв. ) |
| Аннотация | Установлено, что процесс формирования, свойства микрорельефного защитного слоя, его качество во многом определяются химической структурой, молекулярно-массовым распределением, термодинамическими и конформационными свойствами молекулярных цепей полимерного связующего фоторезиста. |
|
Химия AR-MARS Химия высокомолекулярных соединений AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
микроэлектроника полигидроксиамиды полифункциональные материалы полициклодегидратация смесь диаминов |
|
Стрелина, И. А. 070 z02710 Окатова, О. В. 070 z03710 Безрукова, М. А. 070 z04710 Большаков, М. Н. 070 z05710 Марфичев, А. Ю. 070 z06710 Лебедева, Г. К. 070 z07710 Рамш, С. М. 070 z08710 |
|
|
Санкт-Петербургский технологический институт z01700 Вторичная ответственность Институт высокомолекулярных соединений РАН z02700 Санкт-Петербург Вторичная ответственность Институт высокомолекулярных соединений РАН z03700 Санкт-Петербург Вторичная ответственность Институт высокомолекулярных соединений РАН z04700 Санкт-Петербург Вторичная ответственность Институт высокомолекулярных соединений РАН z05700 Санкт-Петербург Вторичная ответственность Институт высокомолекулярных соединений РАН z06700 Санкт-Петербург Вторичная ответственность Институт высокомолекулярных соединений РАН z07700 Санкт-Петербург Вторичная ответственность Санкт-Петербургский технологический институт z08700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0044-4618 |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 90, вып. 11. - С. 1463-1469 |
|
RU 42013534 20180117 RCR |
|
|
RU 42013534 20180117 |
|
|
RU AR-MARS 20180117 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180117 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
zpch 2017 90 11 1463 1 |
|
| 12807 | |
| Специфические технологические процессы |
