Поиск

Высокотермостойкие полифункциональные материалы для микроэлектроники, гидродинамические, оптические и конформационные свойства Si-содержащего поли(гидроксиамида)

Авторы: Рудая, Л. И. Стрелина, И. А. Окатова, О. В. Безрукова, М. А. Большаков, М. Н. Марфичев, А. Ю. Лебедева, Г. К. Рамш, С. М.
Подробная информация
Индекс УДК 541.6
Высокотермостойкие полифункциональные материалы для микроэлектроники, гидродинамические, оптические и конформационные свойства Si-содержащего поли(гидроксиамида)
[Текст]
Л. И. Рудая [и др.]
Аннотация Установлено, что процесс формирования, свойства микрорельефного защитного слоя, его качество во многом определяются химической структурой, молекулярно-массовым распределением, термодинамическими и конформационными свойствами молекулярных цепей полимерного связующего фоторезиста.
Название источника Журнал прикладной химии
Место и дата издания 2017
Прочая информация Т. 90, вып. 11. - С. 1463-1469