Поиск

Текстура пленок боридов, нитридов и силицидов переходных металлов, полученных методами ионного осаждения

Авторы: Игнатенко, П. И. Гончаров, А. А. Терпий, Д. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 546.471.2:539.23
Текстура пленок боридов, нитридов и силицидов переходных металлов, полученных методами ионного осаждения
Текст