| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/231430290 |
| Дата корректировки | 16:03:23 3 апреля 2018 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.471.2:539.23 |
| Игнатенко, П. И. | |
|
Текстура пленок боридов, нитридов и силицидов переходных металлов, полученных методами ионного осаждения Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | Ил.3 |
| Библиография | Библиогр. : 19 назв. |
|
ионное осаждение бориды нитриды силициды переходные металлы неорганические материалы ионно-плазменное распыление ионная имплантация высокочастотное реактивное распыление |
|
|
Гончаров, А. А. Терпий, Д. Н. |
|
| Источник информации |
Неорганические материалы 2007 Т.43, № 4.- С. 405-409 |
| Тип документа | b |
