Поиск

Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, по спектрам оптического отражения

Авторы: Степанов, А. Л. Воробьев, В. В. Нуждин, В. И. Валеев, В. Ф. Осин, Ю. Н.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zhps17_to84_no5_ss726_ad1
Дата корректировки 11:52:50 29 ноября 2017 г.
Кодируемые данные 171113s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zhps17_to84_no5_ss726_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.2/.3
539.2
Индекс ББК 22.343
22.37
Таблицы для массовых библиотек
Таблицы для массовых библиотек
Степанов, А. Л.
070
Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, по спектрам оптического отражения
[Текст]
А. Л. Степанов [и др.]
Библиография Библиогр.: с. 730 (21 назв. )
Аннотация Проведены исследования оптического отражения поверхности Si, имплантированного ионами Ag{+} при низкой энергии 30 кэВ в широком интервале доз 5. 0 · 10{14}-1. 5 · 10{17} ион/см{2}, параллельно с электронными микроскопическими наблюдениями образцов. Установлено, что с ростом ионной дозы облучения монотонно снижается интенсивность отражения в УФ области спектра Si. Это вызвано аморфизацией и макроструктурированием его приповерхностного слоя. В длинноволновой области отражения регистрируется селективная полоса с максимумом вблизи 830 нм, обусловленная проявлением плазмонного резонанса ионно-синтезированных наночастиц Ag.
Физика
AR-MARS
Физическая оптика
AR-MARS
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
AR-MARS
Ключевые слова ионная имплантация
композиционные слои
кремний
оптическое отражение
плазмонный резонанс
Воробьев, В. В.
070
Нуждин, В. И.
070
Валеев, В. Ф.
070
Осин, Ю. Н.
070
ISSN 0514-7506
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2017
Прочая информация Т. 84, № 5. - С. 726-730
RU
43013090
20171113
RCR
RU
43013090
20171113
RU
AR-MARS
20171113
RCR
RU
AR-MARS
20171113
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zhps
2017
84
5
726
1
718