| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps17_to84_no5_ss703_ad1 |
| Дата корректировки | 11:52:49 29 ноября 2017 г. |
| Кодируемые данные | 171113s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps17_to84_no5_ss703_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
535.2/.3 53:51 |
| Индекс ББК |
22.343 22.311 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Стаськов, Н. И. 070 |
|
|
Трехкомпонентная модель эффективной среды для определения состава слоев на кремниевых пластинах [Текст] Н. И. Стаськов, Л. И. Сотская |
|
| Библиография | Библиогр.: с. 708-709 (18 назв. ) |
| Аннотация | Предлагаемая модель эффективной среды, в которой матричная среда Максвелла-Гарнетта заполнена средой Бруггемана, применена при решении обратных задач многоугловой эллипсометрии для определения состава переходных слоев, окружающих слой термического диоксида кремния на кремниевой подложке. Объемные факторы заполнения слоя корректно отражают возможные структурные превращения при окислении кристаллического кремния. |
|
Физика AR-MARS Физическая оптика AR-MARS Математическая физика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
Максвелла-Гарнетта матричная среда матричная среда Максвелла-Гарнетта метод эллипсометрии многоугловая эллипсометрия окисление пластин кремния переходные слои слой на подложке термический диоксид кремния трехкомпонентная модель эффективной среды эффективной среды |
|
Сотская, Л. И. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 84, № 5. - С. 703-709 |
|
RU 43013090 20171113 RCR |
|
|
RU 43013090 20171113 |
|
|
RU AR-MARS 20171113 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20171113 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2017 84 5 703 1 |
|
| 718 |
