| Индекс УДК |
535.2/.3 53:51 |
|
Трехкомпонентная модель эффективной среды для определения состава слоев на кремниевых пластинах [Текст] Н. И. Стаськов, Л. И. Сотская |
|
| Аннотация | Предлагаемая модель эффективной среды, в которой матричная среда Максвелла-Гарнетта заполнена средой Бруггемана, применена при решении обратных задач многоугловой эллипсометрии для определения состава переходных слоев, окружающих слой термического диоксида кремния на кремниевой подложке. Объемные факторы заполнения слоя корректно отражают возможные структурные превращения при окислении кристаллического кремния. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 84, № 5. - С. 703-709 |
