Поиск

Исследование тонких покрытий в системе Si-B-C-(N), полученных с помощью ионного распыления мишени SiBC

Авторы: Кирюханцев-Корнеев, Ф. В. Шевейко, А. Н. Лемешева, М. Рупасов, С. И. Левашов, Е. А.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zamt17_to53_no5_ss525_ad1
Дата корректировки 11:51:03 29 ноября 2017 г.
Кодируемые данные 171116s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zamt17_to53_no5_ss525_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека Брянского государственного технического университета
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 620.1/.2
Индекс ББК 30.3
Таблицы для массовых библиотек
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
070
Исследование тонких покрытий в системе Si-B-C-(N), полученных с помощью ионного распыления мишени SiBC
[Текст]
Ф. К. Кирюханцев-Корнеев [и др.]
Библиография Библиогр.: с. 531 (50 назв. )
Аннотация Методом ионного распыления спеченных мишеней Si–B–C получены аморфные тонкопленочные покрытия Si–B–С– (N) с различным содержанием азота. Структура покрытий исследована с применением методов рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии, оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда, инфракрасной спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Механические свойства покрытий определены с помощью метода наноиндентирования. Для оценки жаростойкости покрытий проведены отжиги на воздухе при температурах 1000, 1100 и 1200°С. Установлено, что покрытия оптимального состава обладают твердостью 26 ГПа, модулем упругости 221 ГПа и упругим восстановлением 65%.
Техника
AR-MARS
Материаловедение
AR-MARS
Ключевые слова тонкие покрытия
катоды SiBC
ионное распыление
износостойкость
жаростойкость
Шевейко, А. Н.
070
Лемешева, М.
070
Рупасов, С. И.
070
Левашов, Е. А.
070
ISSN 0044-1856
Название источника Физикохимия поверхности и защита материалов
Место и дата издания 2017
Прочая информация Т. 53, № 5. - С. 525-531
RU
24113514
20171116
RCR
RU
24113514
20171116
RU
AR-MARS
20171116
RCR
RU
AR-MARS
20171116
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zamt
2017
53
5
525
1
340
Новые вещества, материалы и покрытия