| Индекс УДК | 620.1/.2 |
|
Исследование тонких покрытий в системе Si-B-C-(N), полученных с помощью ионного распыления мишени SiBC [Текст] Ф. К. Кирюханцев-Корнеев [и др.] |
|
| Аннотация | Методом ионного распыления спеченных мишеней Si–B–C получены аморфные тонкопленочные покрытия Si–B–С– (N) с различным содержанием азота. Структура покрытий исследована с применением методов рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии, оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда, инфракрасной спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Механические свойства покрытий определены с помощью метода наноиндентирования. Для оценки жаростойкости покрытий проведены отжиги на воздухе при температурах 1000, 1100 и 1200°С. Установлено, что покрытия оптимального состава обладают твердостью 26 ГПа, модулем упругости 221 ГПа и упругим восстановлением 65%. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 5. - С. 525-531 |
