| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zfch17_to91_no7_ss1207_ad1 |
| Дата корректировки | 10:40:29 27 сентября 2017 г. |
| Кодируемые данные | 170920s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zfch17_to91_no7_ss1207_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.72 |
| Индекс ББК | 24.58 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Ежовский, Ю. К. z01710 070 |
|
|
Молекулярное наслаивание нанослоев нитрида кремния [Текст] Ежовский Ю. К. |
|
| Аннотация | Представлены обобщенные результаты изучения процесса формирования кремний-азотных нанослоев, полученных методом молекулярного наслаивания на поверхности кремния (100) в диапазоне температур 373-873 К. Определены условия роста наноструктур нитрида кремния и слоевого механизма их формирования. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия поверхностных явлений AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
кремний-азотные нанослои метод молекулярного наслаивания нитрид кремния процесс формирования |
|
Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет) z01100 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0044-4537 |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 91, № 7. - С. 1207-1210 |
|
RU 42013534 20170920 RCR |
|
|
RU 42013534 20170920 |
|
|
RU AR-MARS 20170920 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20170920 |
|
|
http://dx.doi.org/10.7868/S004445371707010X |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zfch 2017 91 7 1207 1 |
|
| 12811 | |
| Физическая химия нанокластеров и наноматериалов |
