| Индекс УДК | 544.72 |
|
Молекулярное наслаивание нанослоев нитрида кремния [Текст] Ежовский Ю. К. |
|
| Аннотация | Представлены обобщенные результаты изучения процесса формирования кремний-азотных нанослоев, полученных методом молекулярного наслаивания на поверхности кремния (100) в диапазоне температур 373-873 К. Определены условия роста наноструктур нитрида кремния и слоевого механизма их формирования. |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 91, № 7. - С. 1207-1210 |
|
http://dx.doi.org/10.7868/S004445371707010X |
