| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zamt17_to53_no3_ss290_ad1 |
| Дата корректировки | 10:39:21 27 сентября 2017 г. |
| Кодируемые данные | 170922s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zamt17_to53_no3_ss290_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Брянского государственного технического университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.3 |
| Индекс ББК | 31.2 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Fabrizi, A. 070 |
|
|
Сравнительное исследование стойкости к окислению и термической стабильности покрытий TiBN и TiSiBN [Текст] А. Fabrizi [и др.] |
|
| Библиография | Библиогр.: с. 297 (23 назв. ) |
| Аннотация | Работа посвящена исследованию влияния добавки кремния на структуру, стойкость к окислению и термическую стабильность покрытий TiBN. Покрытия TiBN и TiSiBN наносились на подложки из монокристаллического кремния (100) методом магнетронного напыления совмещенного с ионной имплантацией, что позволило существенно повысить адгезию покрытий к подложке и сохранить ее на высоком уровне при высокотемпературных отжигах. Исходные и отожженые покрытия исследовались с применением методов просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения, атомно-силовой микроскопии, рентгенофазового анализа, Рамановской спектроскопии, оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда и наноиндентирования. Было установлено, что структура и механические свойства покрытий TiBN деградируют при нагреве в вакууме до 900°С, интенсивное окисление на воздухе начинается при температурах менее 700°С. Структура покрытий TiSiBN и твердость на уровне 21 ГПа сохраняются до 900°С. Покрытия TiSiBN устойчивы к окислению до 900°С, что обусловлено защитными свойствами аморфного слоя из оксида кремния, формирующегося при нагреве покрытий на воздухе. |
|
Энергетика AR-MARS Электротехника в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
окисление кремний термическая стабильность магнетронное напыление ионная имплантация спектроскопия |
|
Cecchini, R. 070 Кирюханцев-Корнеев, Ф. В. 070 Шевейко, А. Н. 070 Spigarelli, S. 070 Cabibbo, M. 070 |
|
| ISSN | 0044-1856 |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 3. - С. 290-297 |
|
RU 24113514 20170922 RCR |
|
|
RU 24113514 20170922 |
|
|
RU AR-MARS 20170922 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20170922 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zamt 2017 53 3 290 1 |
|
| 340 | |
| Наноразмерные и наноструктурированные материалы и покрытия |
