| Индекс УДК | 621.3 |
|
Сравнительное исследование стойкости к окислению и термической стабильности покрытий TiBN и TiSiBN [Текст] А. Fabrizi [и др.] |
|
| Аннотация | Работа посвящена исследованию влияния добавки кремния на структуру, стойкость к окислению и термическую стабильность покрытий TiBN. Покрытия TiBN и TiSiBN наносились на подложки из монокристаллического кремния (100) методом магнетронного напыления совмещенного с ионной имплантацией, что позволило существенно повысить адгезию покрытий к подложке и сохранить ее на высоком уровне при высокотемпературных отжигах. Исходные и отожженые покрытия исследовались с применением методов просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения, атомно-силовой микроскопии, рентгенофазового анализа, Рамановской спектроскопии, оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда и наноиндентирования. Было установлено, что структура и механические свойства покрытий TiBN деградируют при нагреве в вакууме до 900°С, интенсивное окисление на воздухе начинается при температурах менее 700°С. Структура покрытий TiSiBN и твердость на уровне 21 ГПа сохраняются до 900°С. Покрытия TiSiBN устойчивы к окислению до 900°С, что обусловлено защитными свойствами аморфного слоя из оксида кремния, формирующегося при нагреве покрытий на воздухе. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 3. - С. 290-297 |
