| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/542366947 |
| Дата корректировки | 9:29:07 9 марта 2017 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793.7:538.975 |
| Зайцев, С. В. | |
|
Исследование морфологии и структуры пленок TiN, синтезируемых методом дуального магнетронного распыления Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 18 назв. |
|
дуальное магнетронное распыление нитрид титана рентгеновская дифракция морфология поверхности структура пленки |
|
|
Колесник, В. В. Ващилин, В. С. Нарцев, В. М. Прохоренков, Д. С. Евтушенко, Е. И. |
|
|
Огнеупоры и техническая керамика 2016 № 11-12. - С. 22-25 |
|
| Тип документа | b |
