Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Исследование морфологии и структуры пленок TiN, синтезируемых методом дуального магнетронного распыления
Поиск

Исследование морфологии и структуры пленок TiN, синтезируемых методом дуального магнетронного распыления

Авторы: Зайцев, С. В. Колесник, В. В. Ващилин, В. С. Нарцев, В. М. Прохоренков, Д. С. Евтушенко, Е. И.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793.7:538.975
Исследование морфологии и структуры пленок TiN, синтезируемых методом дуального магнетронного распыления
Текст
Огнеупоры и техническая керамика
2016
№ 11-12. - С. 22-25