| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/527093652 |
| Дата корректировки | 14:54:12 13 сентября 2016 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 66.088 |
| Осипов, А. А. | |
|
Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
|
технологические параметры локальное плазмохимическое травление монокристаллический кварц |
|
|
Александров, С. Е. Осипов, А. А. |
|
|
Журнал прикладной химии 2016 Т. 89, Вып. 6. - С. 704-709 |
|
| Тип документа | b |
