Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца
Поиск

Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца

Авторы: Осипов, А. А. Александров, С. Е.
Подробная информация
Индекс УДК 66.088
Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца
Текст
Журнал прикладной химии
2016
Т. 89, Вып. 6. - С. 704-709